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计算机工业控制设备成都翔芯科技有限责任公司

更新日期：2023-03-19
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产品详情

本系统是一个自我平衡的循环装置，包含热交换器、循环泵、压缩机和控制系统，可将循环流体温度控制在-30℃到+90℃。
次温控设备（Chiller）主要用于半导体制程中对反应腔温度的精准控制。
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